193nmDUV深紫外單縱模固體激光器

簡要描述：193nmDUV深紫外單縱模固體激光器，光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長可在185和194 nm之間的范圍內定制，訂購時可配置為固定波長。

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詳細介紹

品牌	昊量光電	產地類別	國產
應用領域	綜合

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器和非線性光學器件的專家。可以開發(fā)和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng)，重點開發(fā)193nm的DUV深紫外固體激光器，總部位于德國，擁有20多年的激光器研發(fā)經驗。

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器：

IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學計量、193納米光學系統(tǒng)校準或高功率ArF準分子激光器帶寬控制等應用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長可在185和194 nm之間的范圍內定制，訂購時可配置為固定波長。

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器參數：

Wavelength/波長	193.368 nm
Average power/平均功率	10 mW
Pulse duration/脈寬	typ 8-12 ns
Energy per pulse/單脈沖能量	1.6 µJ
Repetition rate/重復頻率	1-15 kHz
beam quality/光斑質量	M2 < 1.6
Spectral bandwith/譜寬	< 80 MHz
Spectral tunability/光譜可調諧范圍	> 10 pm
coherence length/相干長度	> 2 m
Pulse to pulse stab./脈沖穩(wěn)定性	σ < 2.5 %